上海微电子（SMEE） 是目前最具代表性的龙头企业，也是国内唯一能够量产前道光刻机整机的企业。其产品覆盖先进封装光刻机和前道扫描光刻机，并已实现从90nm到28nm制程的技术突破。
此外，还有多家企业在光刻机关键子系统领域取得重要进展：
芯上微装（AMIES）：专注于先进封装光刻机，2025年已交付第500台国产步进光刻机，全球市占率达35%，国内市场占比高达90%。
华卓精科：在工件台等核心部件上实现突破，其套刻精度达到1.7nm，为国产光刻机提供高精度运动控制支持。
茂莱光学：提供超精密光学模组，产品已应用于国产光刻机中，部分通过ASML认证，是光学系统国产化的重要力量。
波长光电：国内唯一具备DUV光刻机投影物镜量产能力的企业，110nm分辨率物镜已稳定用于上海微电子产线。
这些企业共同构成了“整机+核心部件”的协同发展格局，推动中国光刻机从“有无”向“可用”加速迈进。
